Thin film materials technology

Este título es parte de la bibliografía recomendada de “Tecnología microelectrónica”, que se imparte en el Máster Universitario en Ingenería de Telecomunicación. Se encuentra en libre acceso en la Biblioteca ETSIT.

Thin film materials technology : sputtering of compound materials / by Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake, Hideaki Adachi. Norwich, NY : William Andrew Pub. : Springer, 2004.

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